瑞士INFICON射频传感器技术为半导体加工工具提供高精度，宽带，频率判别的射频测量。该RF数据可提供有关工艺开发和生产过程问题的实际等离子体条件的详细信息，从而显着降低工艺可变性。 这款非侵入式在线电缆安装RF传感器是新的先进过程控制原位传感器套件，  与FabGuard传感器集成和分析系统相结合 提供关键的诊断信息，例如的腔室和过程功率和阻抗测量，故障的根本原因分析（例如匹配网络问题），腔室匹配的过程指纹识别以及PVD，CVD和蚀刻应用中的晶圆计量建模。

采用FabGuard的INFICON射频传感器技术可生成高精度模型，通过测量和执行基波和谐波电压和电流（包括相角测量）的分析来预测晶圆计量结果，因此工程师能够控制每个晶圆处理过程中的实际晶圆结果。现在，FabGuard的强大算功能与RF传感器技术相结合，可基于通过易于理解的用户界面提供的实时测量和相关性，显着提高半导体工艺的可重复性，稳定性和准确性。

环境给INFICON RFS100射频传感器影响主要有以下几个方面：

1. 高温环境对传感器造成涂覆材料熔化、焊点开化、弹性体内应力发生结构变化等问题。对于高温环境下工作的传感器常采用耐高温传感器；另外，必须加有隔热、水冷或气冷等装置。

2. 粉尘、潮湿对传感器造成短路的影响。在此环境条件下应选用密闭性很高的传感器。不同的传感器其密封的方式是不同的，其密闭性存在着很大差异。

   常见的密封有密封胶充填或涂覆；橡胶垫机械紧固密封；焊接（氩弧焊、等离子束焊）和抽真空充氮密封。

   从密封效果来看，焊接密封为佳，充填涂覆密封胶为差。对于室内干净、干燥环境下工作的传感器，可选择涂胶密封的传感器，而对于一些在潮湿、粉尘性较高的环境下工作的传感器，应选择膜片热套密封或膜片焊接密封、抽真空充氮的传感器。

3. 在腐蚀性较高的环境下，如潮湿、酸性对传感器造成弹性体受损或产生短路等影响，应选择外表面进行过喷塑或不锈钢外罩，抗腐蚀性能好且密闭性好的传感器。

4. 电磁场对传感器输出紊乱信号的影响。在此情况下，应对传感器的屏蔽性进行严格检查，看其是否具有良好的抗电磁能力。

5. 易燃、易爆不仅对传感器造成*性的损害，而且还给其它设备和人身安全造成很大的威胁。因此，在易燃、易爆环境下工作的传感器对防爆性能提出了更高的要求：在易燃、易爆环境下必须选用防爆传感器，这种传感器的密封外罩不仅要考虑其密闭性，还要考虑到防爆强度，以及电缆线引出头的防水、防潮、防爆性等。

INFICON RFS100射频传感器特征：

• CVD应用

     - 晶圆计量建模（薄膜应力，薄膜厚度）

     - 真正的处理室输出功率的有功功率控制

     - FDC（例如等离子体不稳定，充电）

     - 室内匹配（RF指纹）

• PVD应用

     - 晶圆计量建模（电阻率）

     - FDC

     - 室内匹配（RF指纹）

• 蚀刻应用

     - 晶圆计量建模（蚀刻速率）

     - 真正的处理室输出功率的有功功率控制

     - FDC

     - 室内匹配（RF指纹）

东莞市科比特工业自动化设备有限公司（东莞市广联自动化设备有限公司）专业供应进口电磁阀、气缸、泵、传感器、继电器、开关、离合器、过滤器、滤芯、流量计、液位计、编码器、伺服阀等产品。德国美国有公司，厂家一手货源，详请致电。