荷兰bronkhorst P-702CM型背压传感器技术参数
荷兰bronkhorst P-702CM型背压传感器专为满足半导体市场以及其他高纯度气体应用的要求而设计。这些仪器具有高表面质量,采用模块化结构,采用金属对金属密封,可确保长期密封性。P-702CM 适用于精确测量和控制 20…100 mbar 和 12,8…64 bar 绝对压力或 4,2...21 bar 表压之间的压力范围。EPC 具有久经考验的紧凑型直通式设计,包括隔膜式压阻式压力传感器、带信号和现场总线转换功能的基于微处理器的印刷电路板以及通过集成控制阀进行压力控制的 PID 控制器。
除了标准的 RS232 输出外,仪器还提供模拟 I/O。作为选项,可以安装板载接口以提供 CANopen®、DeviceNet™、EtherCAT®、PROFIBUS DP、PROFINET、Modbus RTU、ASCII 或 TCP/IP、EtherNet/IP、POWERLINK 或 FLOW-BUS 协议
荷兰bronkhorst P-702CM型背压传感器技术参数:
测量/控制系统
绝对压力传感器代码:350A - 范围 (FS):100 ... 350 mbara - P-max:1,0 bara - 爆破压力:1,4 bara
代码:1K1A - 范围 (FS):0,35 ... 1,1 bara - P-max:3,1 bara - 爆破压力:4,2 bara
代码:6K0A - 范围 (FS):1,1 ... 6 bara - P-max:10,5 bara - 爆破压力:14 bara
代码:21KA - 范围 (FS):6 ... 21 bara - P-max:62 bara - 爆破压力:84 bara
代码:64KA - 范围 (FS):21 ... 64 bara - P-max:100 bara爆破压力:不适用
相对压力传感器代码:350R - 范围 (FS):100 ... 350 mbarg - P-max:1,0 barg - 爆破压力:1,4 barg
代码:1k1R - 范围 (FS):0,35 ... 1,1 barg - P-max:3,1 barg - 爆破压力:4,2 barg
代码:6K0R - 范围 (FS):1,1 ... 6 barg - P-max:10,5 barg - 爆破压力:14 barg
代码:21KR - 范围 (FS):6 ... 21 barg - P-max:62 barg - 爆破压力:84 barg
精度(包括线性度和滞后)± 0,5 % 满量程
重复性< 0,1 % 研发
压力范围1 : 5(流量范围为 1 : 50)
控制稳定性≤ ± 0,05 % FS (在过程体积下典型的 1 slm N 2 )
工作温度-10 … +50 °C
至 +70°C 应要求提供
温度敏感性0,1%满量程/°C
最大限度。Kv值6,6 x 10 -2
泄漏完整性,舷外< 2 x 10 -11 Pa.m 3 /s 他
通过关闭的阀门泄漏< 10 -5 Pa.m 3 /s 他
态度敏感度可以安装在任何位置
热身时间微不足道
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