BPS型瑞士Levitronix流量控制器专为微电子湿式应用中精细流体的超纯处理而设计。基于主动磁悬浮，泵叶轮悬浮并由电机磁场驱动。宽间隙确保运动部件之间没有机械接触，因此不会磨损。没有轴承磨损或密封件损坏。

叶轮和外壳均由耐化学腐蚀的高纯度含氟聚合物树脂制成。通过电子调节叶轮速度来精确控制流体流量和压力。

   BPS型瑞士Levitronix流量控制器优势如下：

事实

由于止回阀、波纹管或隔膜等运动部件的机械接触而产生的摩擦会导致磨损。磨损会导致颗粒脱落，从而导致晶圆缺陷。

测试条件

对来自四个不同制造商的十台泵在多种测试条件下运行期间的超纯水中颗粒脱落情况进行了评估。选择测试条件以便可以在典型操作条件下对组中的所有泵进行比较。

结果

无论泵的运行条件如何， Levitronix ®泵在所有评估的泵中始终排出最少的颗粒。在所有测试中，Levitronix ®泵下游测得的颗粒浓度非常接近系统中没有测试泵时测得的浓度。

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