美国MASSVAC 355051型过滤器可以保护泵免受腐蚀性化学品和磨料颗粒存在于您的真空系统。它的特点是有一个三级的污水收集系统:第一级在大面积的表面上撞击重颗粒,凝结挥发性固体和液体;第二级和第三级含有两个平行的过滤元件,可以定制来去除腐蚀性化学品和微粒。水或制冷剂冷却的配件,使第一阶段更有效的凝结。

保护油封真空泵和干真空泵

清除可能破坏真空泵的腐蚀性和磨料

诸如   Pecvd,  角 ,  莫卡德夫,  金属蚀刻 和  HVPE。

模块化设计使设备易于拆卸和清洁

元素替换是快速和容易的

提供水或制冷剂冷却选择

   美国MASSVAC 355051型过滤器可配置为许多不同的装置,从重颗粒应用到那些产生可凝结或有机蒸气。

第一阶段撞击重颗粒和一些压缩物

冷却线圈去除更多的压缩物,降低气体温度

第2阶段墨盒元件使第一次过滤通过

第3阶段元素去除更细的微粒

煤气出口

现在提供了一个新的配置,其特点是单一的高容量、高效率的微粒过滤器,用于产生大量微粒的过程。这个大的过滤器,13"高x14"直径,是由高温褶皱聚酯材料,提供40平方英尺。金融时报每平方米颗粒保留量60克的面积。金融时报这些过滤器可以获得25微米和100微米的评级,提供99%的粒子效率评级。这种大面积的表面积和颗粒保留率的结合,使其非常适合用于保护用于LPCVD、PECVD和ALD的半导体晶圆结构的真空泵。

该多拉杆直径为16",电导等级大于2000CFM@1托尔,全304不锈钢结构,具有ISO-160端口,以直角和直通式配置。现有装置也有可选的冷却配件、滤罩和改装工具包。可添加陷阱堆叠模块,以大大增加容量。

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