来了解MKS真空计925系列性能参数
点击次数：2136 更新时间：2016-06-03
来了解MKS真空计925系列性能参数
MKS 925系列真空计（MlcroPirani传感器）
925系列MlcroPirani（微皮拉尼）传感器是一个*的、基于MEMS的传感器，它是一种热导测量计。925 MlcroPirani常用于半导体设备及其它分析仪器中的真空压力测量。MlcroPirani传感器设计十分小型紧凑。其压力测量范围从常压至10-5Torr，比标准Pirani压力计低两个数量级。925具有数字或模拟通讯接口，925有三个设置点。
925系列真空计主要参数：
测量范围：1.0*10-5Torr至大气压
设定范围：5.0*10-4 Torr至500Torr
精度：5*10-4 至10-3Torr ±10%读数,10-3至100Torr ±5%读数,100Torr至大气压 ±25%读数
重复性：10-3至100 Torr ± 2%
电源要求：9 to 30 VDC,<1.5W
美国MKS 925系列真空计订购资料（订货号如925-11030）：
型号 | 订购序号 |
925 MlcroPirani | 925- |
接口类型 |
|
KF16 | 1 |
KF25 | 2 |
1/8NPT | 3 |
VCR4 | 4 |
VCR8 | 5 |
CF1.33 | 6 |
KF16扩展 | 8 |
通讯接口 |
|
RS232/模拟 | 1 |
RS485/模拟 | 2 |
模拟输出 |
|
MKS标准 | 0 |
MKS定制有*测范围 | 8 |
连接头和继电器 |
|
15针D-sub母头/1个接触点/925C兼容 | 1 |
15针D-sub母头/无接触点 | 2 |
15针D-sub母头/3个接触点 | 3 |
15针D-sub母头/3个接触点/双模拟输出 | 5 |
密封 |
|
标准/Viton密封 | 0 |
标准/UHV密封 | 1 |
标准/Viton密封/带显示 | 4 |
